Scorpioは半導体デバイスに対するHCI, BTI, TDDB, EMなどの幅広いテスト要求に対応します。
また、ウェハーレベル・パッケージレベルのどちらにも対応しており、ウェハーレベルでは最大96DUT、パッケージーレベルでは288DUTの同時測定が行えます。
電圧/電流ストレス源としてパーピンVSU/EMUを用意しているため、各DUTの各chへ印加するストレスを個別に設定することができます。
MOSの信頼性装置は標準では±25V、最大で±200V、EMは最大で±2Aのストレス・測定システムを用意しておりますが、ご要望に合わせたシステムも提供可能です。

製品特徴

●低価格
●高同時測定数
●パーピンストレス

製品仕様

●テスト項目 ： HCI, BTI, GOI/TDDB, EM
●同時測定数 ： 288DUT
●VSU：1152ch
●高精度電流測定機能

EM測定用DUTボード

可動式マルチサイトプローバ